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VSP 80 螺桿泵

憑借可靠的性能、多種的控制方式、低運(yùn)維成本，清潔耐腐蝕，采用高速型多級(jí)無油變螺距轉(zhuǎn)子，可對(duì)多種工況下的真空系統(tǒng)進(jìn)行清潔抽空。多路吹掃，氣、液監(jiān)控、變頻控制等功能，讓運(yùn)行更加可靠，性能更加穩(wěn)定。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、鋰電、光伏等領(lǐng)域。

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真空泵

VSP系列螺桿真空泵

VSP 80 螺桿泵特點(diǎn)

變截距轉(zhuǎn)子

定制型線變螺距，耐水汽耐腐蝕能力更強(qiáng)，功耗更低

水冷灌膠電機(jī)

電機(jī)泵體同軸設(shè)計(jì)，防腐蝕設(shè)計(jì)，更高效率更可靠。密封灌膠電機(jī)水冷設(shè)計(jì)，密封、絕緣、減震，更穩(wěn)定耐用

精巧矢量控制變頻器

精巧矢量控制，工作環(huán)境20~40℃，內(nèi)置STO/PLC，瞬時(shí)斷電自動(dòng)啟動(dòng)

TMF熱力流量計(jì)

高精度，耐腐蝕的熱力流量計(jì) 氣體流量實(shí)時(shí)反饋，安全控制啟停

夾鉗式流量傳感器

流量實(shí)時(shí)顯示，水流量閾值控制，防止堵塞，不損失水流量，維護(hù)方便，安全控制啟停

泵腔壓力變送器(排氣）

高精度耐腐蝕，精準(zhǔn)實(shí)時(shí)反饋泵腔壓力形成有效控制

VSP 80 螺桿泵參數(shù)

型號(hào)			VSP80
極限抽速		m3/h	80
		L/ min	1330
		CFM	47
極限真空度		Pa	1
		Torr	7.5×10?3
		mbar	1×10?2
吹掃	干燥氮?dú)?干燥壓縮空氣	sIm	0~190
	壓力	Mpa	0.05~0.2
	接頭		氣管快速接頭 φ6mm
額定功率		kW	3
極限真空電流		A	2.8
峰值電流		A	4
PID功能			有
模擬量輸入			有
啟動(dòng)方式			端子啟動(dòng)、通訊啟動(dòng)
通訊功能			MODBUS-RTU
進(jìn)氣口			KF40
排氣口			KF40
水汽處理能力		g/h	700
重量		kg	209
噪音		dB(A)	≤65
環(huán)境溫度		℃	5~40
冷卻方式			水冷
冷卻水	最低流量	L/ min	3~7
	溫度	℃	15~30
	供給壓力	Mpa	0.2-0.4
尺寸(LWH)		mm	989×468×551