泛半導(dǎo)體
半導(dǎo)體零部件制造工藝極為復(fù)雜，其中包含大量必須在真空條件下開展的步驟，并且不同技術(shù)對(duì)真空度有著特定要求。半導(dǎo)體工具及其關(guān)聯(lián)設(shè)施若出現(xiàn)任何一處泄漏，都將嚴(yán)重影響產(chǎn)量與良率，可能導(dǎo)致產(chǎn)量下滑、無法滿足處理規(guī)格，甚至引發(fā)重大安全風(fēng)險(xiǎn)。
飛越專注于半導(dǎo)體清潔應(yīng)用，推出全球超小的風(fēng)冷小螺桿泵、干泵及機(jī)組解決方案，該方案設(shè)計(jì)能有效降低購(gòu)置成本并延長(zhǎng)工藝壽命，為半導(dǎo)體零部件制造提供有力保障與高效支持。
